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검사 목적에 맞춰 구성되는
X-ray 검사 시스템 라인업

기본 원리 및 설계 구조

구분 CT (Computed Tomography) CL (Computed Laminography)
이미징 방식 360° 회전 스캐닝 (객체 회전 또는 X-ray 소스-검출기 회전) 제한된 각도 스캐닝 (객체 고정, 소스-검출기 상대 이동)
광학 구성 단일 회전축 중심의 완전한 투영 데이터 수집 평면 이동 또는 틸트(tilt) 기반 부분 투영 데이터 수집
최적화 대상 소형 3D 복합 구조물 (BGA, 마이크로비아) 대형/평판형 객체 (PCB, 배터리 셀, 항공기 날개)
데이터 재구성 알고리즘 FDK (Feldkamp-Davis-Kress) 알고리즘 Fourier 슬라이스 정리 또는 반복적 재구성 (MBIR)

시스템 구조

장비 구성 차이

구성 요소 CT 시스템 CL 시스템
엑스레이 소스 마이크로/나노포커스 튜브 마이크로포커스 튜브
검출기 고속 평판 검출기 (FPD) 또는 CCD 기반 센서 대형 평판 검출기 (FPD)
스테이지 초정밀 회전 스테이지 (0.001° 분해능) 선형 이동+틸트 스테이지
소프트웨어 3D 볼륨 재구성+결함 자동 분류 (AI) 2.5D 레이어별 이미징+스탭 측정 알고리즘
※ 검사 대상과 해상도 요구에 따라 적합한 엑스레이 소스 구성.
T.02-839-7360 b