검사 해상도와 목적에 최적화된
X-ray Source
AMFIS는 Nano Focus, Micro Focus, Mini Focus 등 다양한 X-ray Source를 제공합니다.
검사 대상 크기, 요구 해상도, 분석 목적에 따라 최적의 Source 선택이 가능하며,
이는 최종 영상 품질과 데이터 정확도를 결정하는 핵심 요소입니다.
Nano Focus
업계 최고 수준의 해상도와 안정성
NanoTube N3는 기하학적 확대 방식의 X-ray 이미징 시스템에서 수동 튜닝 없이도 업계 최고 수준의 해상도와 안정성을 제공합니다.
본 제품은 첨단 전자광학 기술과 최신 텅스텐-다이아몬드 전송 타깃 기술을 기반으로 설계되었습니다.
또한 전자빔 자동 포커싱 및 비점수차 보정 기능을 통해 언제나, 매일 동일하게 가장 작고 완벽한 원형의 초점을 안정적으로 구현합니다.
이러한 기술을 통해 150 nm 라인•스페이스 기준의 전례 없는 실질 해상도를 실현합니다.
정면
측면
| Model | Nano Tube N3 | |
|---|---|---|
| Voltage | 60kV | 110kV |
| Max. Power on target | 3.6W | 9.2W |
| Min. Resolution | 150nm | 150nm |
| Min. FOD | 150μm | 150μm |
| High brightness emitter | LaB6 | LaB6 |
| Type | Transmission | Transmission |
| Long term spot stability | <100nm | <100nm |
| Imaging | Nano/Micro Source | Nano/Micro Source |
| Application | Biomedical | Biomedical |
Micro Focus (Sealed / Open)
정밀 고해상도 밀폐·개방형 X-Ray Source
Microfocus X-ray Source는 핫 캐소드(Hot Cathode) 기술을 적용한 소형 일체형 밀폐형(Closed Tube) 구조와 개방형 (Open Tube)의 X-Ray Source입니다.
마이크론 초점 크기와 고해상도, 높은 배율 그리고 안정적인 X-ray 방출 특성을 바탕으로 전자부품, PCB, 조립 회로 기판, 배터리 셀 등 다양한 검사 대상의 내부 구조를 선명하고 고품질로 영상화할 수 있습니다.
Applications
- PCB 및 반도체 소자 검사
- SMT / PCBA 전자 제조 공정
- 와이어 하네스 및 커넥터 검사
- 3D 배터리 검사, Bio Medical
AXTS90
AXTS130
| Model | AXTS90 | AXTS130 |
|---|---|---|
| Voltage | 90kV (Sealed) | 130kV (Sealed) |
| Max. Power | 8W | 65W |
| Min. Resolution | 4μm | 2~10μm |
| Min. FOD | 8mm | 12mm |
| Filament | W | W |
| Type | Transmission | Transmission |
| Spot Size | 5um | 7um |
| Imaging | X-ray Micro | X-ray Micro |
| Application | Semiconductor, MLB | Semiconductor, MLB |
AXTOT160
AXTOT225
| Model | AXTOT160 | AXTOT225 |
|---|---|---|
| Voltage | 160kV (Open) | 225kV (Open) |
| Max. Power | 3W | 3W |
| Min. Resolution | < 2μm | < 2μm |
| Min. FOD | 0.25mm | 0.25mm |
| Filament | W/Diamond | W/Diamond |
| Type | Transmission | Transmission |
| Spot Size | 1um | 2um |
| Imaging | X-ray Micro | X-ray Micro |
| Application | Semiconductor, MLB | Semiconductor, MLB |
Mini Focus
장수명 In-line 특화 고출력 X-ray Source
고정밀 출력 및 자체 고전압 전원장치가 포함된 X-Ray Source입니다. 이 X-ray Source 는 Focal Spot Size는 10~35um 이하의 X-ray Source 로 구성되어 있으며 타 X-ray Source 보다 선명도는 보수적이나 수명이 강하여 PCB, Casting 등에 In-line 시스템으로 프론트 엔드 역률 보정 인버터, 고주파 HV 발생기, 고주파 필라멘트 공급 장치 및 통합 X-Ray Source로 구성되어 있습니다. X-ray Source 는 RS232 인터페이스를 통해 엑스레이 제어, 인터락 장치 등으로 프로그래밍 및 모니터링 되어 다음 사양에 맞게 제작될 수 있습니다.
AXT50
AXT60/80
| Model | AXT50 | AXT60/80 |
|---|---|---|
| Voltage | 50kV | 80kV |
| Current | 1.0mA | 0.75mA |
| Min. Resolution | 35W | 56W |
| Min. FOD | 10mm | 10mm |
| Filament | W | W |
| Type | Transmission | Transmission |
| Spot Size | 30um | 50um |
| Imaging | Mini | Mini |
| Application | MLB | MLB, 전자부품 |