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Applications

TSV / TGV / Glass substrate

초정밀 X-ray 기반 TGV 및 Glass Substrate

내부 구조 분석 솔루션

미세 구조의 형상, 결함, 적층 상태를 비파괴로 정밀 분석하여 차세대 반도체 및 Advanced Packaging 공정의 품질과 신뢰성을 확보합니다.
TSV (Through Silicon Via), TGV(Through Glass Via) 및 Glass Substrate 기술은 차세대 반도체 패키징의 핵심 기반으로, 미세 구조의 형상 정밀도와 내부 결함 검출이 제품 성능과 직결됩니다.
AMFIS의 TSV, TGV / Glass Analysis Platform은 고해상도 X-ray 2D / 3D / CT / CL 기술을 기반으로, Glass 내부의 Via 구조, Fill 상태, 미세 균열 및 결함을 비파괴 방식으로 정밀하게 분석합니다.
특히, 제한각 기반 CL(Computed Laminography) 기술을 통해 기판 왜곡 없이 실제 공정 상태에 가까운 내부 구조를 구현하며, 정량적 데이터 분석을 통해 공정 개선 및 품질 안정화에 기여합니다.

적용 분야

TSV, TGV Hole Profile Analysis

TSV, TGV 홀의 직경, 깊이, 형상 균일성을 분석하여
공정 정밀도를 평가

Glass Substrate Internal Inspection

Glass 내부 구조 및 적층 상태를
비파괴로 확인하여 결함 여부 검출

Via Shape / Taper / Fill Evaluation

Via의 테이퍼 각도, 형상 정밀도 및
충진(Fill) 상태를 정량적으로 분석

Crack / Void / Delamination Analysis

미세 균열, 기공(Void), 층간 박리(Delamination) 등
숨겨진 결함을 고해상도로 검출

Advanced Packaging Failure Analysis

차세대 패키징 구조에서 발생하는 복합 결함을
분석하여 불량 원인 규명 및 공정 개선 지원

AI 기반 분석

본 플랫폼은 AI 기반 자동 분석 기능을 통해 복잡한 내부 구조와 결함을 신속하고 정확하게 판별하며, 데이터 기반의 공정 최적화 및 품질 향상을 지원합니다.

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